Mikroelektronik

I en del processer kan det räcka med några få partiklar eller gasmolekyler för att mycket allvarliga problem ska uppstå. Tänk dig till exempel hur stor skada kontaminerad luft kan orsaka vid tillverkning av halvledare, hårddiskar eller vid andra ytterst känsliga processer.

I halvledartillverkning, oerhört avancerade produktionsmetoder, kräver man mycket ren luft med renhetskrav som ökar hela tiden. Den kritiska partikelstorleken i tillverkningsmiljön för halvledarbanorna i kretsarna är nu under 25 nm (2009) och prognoser görs för att denna storlek kommer att fortsätta att krympa till 10 nm 2017. ”Airborne molecular contamination” (AMC) är nu en viktig fråga för alla avancerade mikroelektroniktillverkare. Ett brett utbud av AMC effekter har observerats påverka utnyttjandegraden av produktionen. Till exempel korrosion på hårddiskar eller ledarbanor, kondenserbar organisk deposition på känsliga ytor eller exponering för låga nivåer av ammoniak har alla visat sig påverka olika processteg.

Hjärtat i ett renrum är dess luftfilter, men det finns också ett antal andra saker att ta hänsyn till beträffande rumsklassificeringen, bl a filterval och hur filtren påverkar omgivningen.

Tack vare över 15 års erfarenhet inom föroreningskontroll i mikroelektronik- och halvledarbranschen och stort engagemang i ITRS (International Technology Roadmap for Semiconductors) har Camfil hög kunskap för att rekommendera de bästa lösningarna för avancerad partikel- och AMC-kontroll.

HEPA/ULPA-filter framställs i kontrollerade miljöer vid Camfils fabriker, som är certifierade enligt ISO 9000. Vi kan tillverka samma typer av filter vid många olika produktionsanläggningar. Vår höga tillverkningskapacitet är en garanti för att våra produkter alltid finns tillgängliga överallt i världen.

Skyddar:

  • Wafer (Kiselskiva) och Halvledare
  • Mikroelektroniska  processutrustningar
  • Hårddiskar
  • Tryckta kretskort
  • Platta bildskärmar
  • Solpaneler
Kontakta

Det är enkelt att kontakta oss

Kontaktinformation
KEEP UPDATED!

Prenumerera på Camfils nyhetsbrev